中科飞测披露年报，2025年实现营业收入20.53亿元，同比增长48.75%；归母净利润5865.26万元，上年同期亏损1152.51万元。报告期内，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备等新系列产品及第四代无图形晶圆缺陷检测设备、第三代套刻精度量测设备等现有系列升级迭代产品收入贡献增长，推动订单规模及营收规模持续增长。随着营收增加，规模效应逐步凸显，公司研发投入稳步增长但占营业收入的比例同比有所下降，盈利水平提升。
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